Plât micro-poeth MEMS yn seiliedig ar ffilm deuelectrig cyfansawdd ochrol a'i ddull gweithgynhyrchu ac elfennau gwireddu technegol

Elfennau gweithredu technegol:

4. Yn wyneb y problemau technegol uchod, mae'r ddyfais bresennol yn darparu plât micro-poeth mems yn seiliedig ar ffilm dielectrig cyfansawdd traws a dull gweithgynhyrchu ohono.

5. Pwrpas y ddyfais bresennol yw darparu plât micro-poeth math gwastad gyda cholled dargludiad gwres ochrol isel, effeithlonrwydd defnydd pŵer uchel y plât micro-poeth ac anffurfiad mecanyddol isel a achosir gan straen thermol, sy'n bodloni'r gofynion o'r fath fel defnydd pŵer isel, anffurfiad isel, Gofynion sefydlogrwydd a dibynadwyedd uchel.

6. y cynllun technegol y mae'r ddyfais bresennol yn datrys y broblem dechnegol uchod fel a ganlyn:

7. Plât micro-poeth mems yn seiliedig ar ffilm deuelectrig cyfansawdd traws, y plât micro-poeth sy'n cynnwys haen dielectrig cyfansawdd, swbstrad sy'n seiliedig ar silicon, haen cynnal ynysu, electrod gwresogi, electrod signal a pad, a ardal ysgythru cefn;

8. Mae'r swbstrad sy'n seiliedig ar silicon yn sylfaen ar gyfer gweithgynhyrchu plât micro-poeth;

9. Mae'r haen cynnal ynysu wedi'i leoli uwchben y swbstrad sy'n seiliedig ar silicon, a ddefnyddir ar gyfer inswleiddio, lleihau colli gwres, a darparu cefnogaeth i'r ardal wresogi electrod a'r ardal mesur signal;

10. Trefnir yr electrod gwresogi uwchben yr haen cynnal ynysu, ac mae'r electrod gwresogi yn cynhyrchu ardal wresogi i ddarparu'r tymheredd gweithio gofynnol ar gyfer y plât micro-poeth;

Cysylltwch â Ni:

Email: zhang@pride-cnc.com

Ffôn: plws 86-755-23699351

Mob: ynghyd â 8618666663894