Strwythur pecynnu, swbstrad, dull pecynnu ac elfennau gweithredu technoleg proses

Elfennau gweithredu technegol:

3. Mae'r dechnoleg bresennol yn darparu strwythur pecynnu, swbstrad, a dull pecynnu, er mwyn lleihau'r straen pecynnu a gynhyrchir ym mhroses bondio'r ddyfais mems.

4. Mewn agwedd gyntaf, darperir strwythur pecyn, gall y strwythur pecyn gynnwys: dyfais mems; Mae cyfernod ehangu thermol y deunydd dosbarth yn llai na chyfernod ehangu thermol deunydd sylfaen y ddyfais mems; a/neu, mae cyfernod ehangu thermol y deunydd ail ddosbarth yn fwy na chyfernod ehangu thermol deunydd sylfaen y ddyfais mems; defnyddir y deunydd bondio, sydd wedi'i leoli rhwng y ddyfais mems a'r swbstrad, ar gyfer Bond y ddyfais mems i'r swbstrad.

5. Yn ddarluniadol, mae'r ddyfais mems yn ficrosynhwyrydd. Er enghraifft, mae'r ddyfais mems yn sglodyn synhwyrydd, neu mae'r ddyfais mems yn strwythur pentwr o sglodyn synhwyrydd a sglodyn cylched darllen allan. Fel enghraifft ac nid yn gyfyngiad, yn ymgorfforiad y dechnoleg bresennol, gellir disodli'r ddyfais mems â micro-synhwyrydd.

6. Yn ddarluniadol, mae'r ddyfais mems wedi'i bondio â'r swbstrad trwy ddeunydd gludiog, ac mae'r deunyddiau sy'n cyfansoddi'r swbstrad yn cynnwys y math cyntaf o ddeunydd a'r ail fath o ddeunydd, a all wneud y straen pecynnu a / neu'r anffurfiad a gynhyrchir yn ystod y bondio proses y ddyfais mems yn llai na'r trothwy rhagosodedig. Fel arall, mae'r ddyfais mems wedi'i bondio â'r swbstrad trwy ddeunydd gludiog, ac mae'r deunyddiau sy'n ffurfio'r swbstrad yn cynnwys y math cyntaf o ddeunydd a'r ail fath o ddeunydd, fel bod y straen pecynnu a / neu'r anffurfiad a gynhyrchir yn ystod proses bondio'r dyfais mems o fewn ystod rhagosodedig Y tu mewn. Fel arall, mae'r ddyfais mems wedi'i bondio â'r swbstrad trwy ddeunydd gludiog, ac mae'r deunyddiau sy'n ffurfio'r swbstrad yn cynnwys y math cyntaf o ddeunydd a'r ail fath o ddeunydd, a all reoli'r straen pecynnu a / neu'r anffurfiad a gynhyrchir yn y bondio dyfais mems proses. Er enghraifft ac nid cyfyngiad, mewn rhai achosion, mae'r straen pecyn a gynhyrchir yn ystod y broses bondio dyfais mems yn sero neu'n agos at sero. Gellir pennu'r trothwy rhagosodedig neu'r ystod rhagosodedig yn unol â'r gofynion gwirioneddol mewn cymwysiadau ymarferol.

7. Yn seiliedig ar yr atebion technegol uchod, yn y strwythur pecyn a ddarperir gan ymgorfforiadau'r dechnoleg bresennol, gall y swbstrad dylunio gynnwys amrywiaeth o wahanol ddeunyddiau, fel y gellir addasu priodweddau materol y swbstrad yn reolaethol. Er enghraifft, trwy addasu cymhareb y gwahanol ddeunyddiau sy'n ffurfio'r swbstrad neu drwch neu ardal gyswllt yr haenau y mae'r gwahanol ddeunyddiau yn perthyn iddynt, mae'n bosibl addasu'n rheolaethol y cyfernod ehangu thermol, anystwythder, dwysedd, ac ati y swbstrad. Trwy addasu priodweddau materol y swbstrad yn rheolaethol, mae'n bosibl addasu a lleihau straen pecynnu'r ddyfais mems (fel microsynhwyrydd) oherwydd diffyg cyfatebiaeth rhwng cyfernod ehangu thermol y ddyfais mems a'r swbstrad yn ystod y broses fondio. , a thrwy hynny addasu dadffurfiad y ddyfais mems.

Cysylltwch â Ni:

Email: zhang@pride-cnc.com

Ffôn: plws 86-755-23699351

Mob: ynghyd â 8618666663894