Dull gweithgynhyrchu dyfais MEMS

maes technegol

1. Mae'r datgeliad presennol yn ymwneud â dyfais mems gyda dosbarthiad straen gwell.

Techneg gefndir:

2. Fel sy'n hysbys iawn, mae dyfeisiau electronig mems ("Systemau Micro Electro Fecanyddol"), fel actiwadyddion a/neu synwyryddion, yn cael eu ffurfio'n nodweddiadol ar swbstrad sy'n cynnwys ceudod ac yn cynnwys strwythurau symudol sy'n hongian o'r ceudod uwchben ac wedi'u cyfyngu gan yr elastig. elfen i'r ardal sefydlog. Gall y swbstrad, y strwythur symudol, a'r elfen elastig fod yn annatod, ac fel arfer cânt eu ffurfio o ddeunydd lled-ddargludyddion fel silicon.

3. Mae'r dyfeisiau electronig hyn hefyd yn cynnwys: un neu fwy o strwythurau actio a/neu ganfod, ynghyd â'r strwythur symudol; a chylchedau rheoli trydanol, wedi'u hintegreiddio yn yr un swbstrad neu wedi'u ffurfio mewn gwahanol swbstradau a Gall Cyplysu â'r strwythur actio a/neu ganfod ddarparu signalau gyriant trydanol i'r strwythur actio a/neu dderbyn signalau canfod trydanol o'r strwythur canfod.

4. Yn fanwl, gall y strwythur actio achosi dadleoli, ee cylchdroi, y strwythur symudol pan gaiff ei reoli gan signal gyriant trydanol cyfatebol. Yn yr un modd, mae'r strwythur canfod wedi'i ffurfweddu i gynhyrchu signalau trydanol cyfatebol sy'n un o swyddogaethau amodau gweithredu'r strwythur symudol, ac er enghraifft, swyddogaeth o ystod gylchdro'r strwythur symudol.

5. Mae'r gylched reoli drydanol a'r strwythur actio a/neu ganfod fel arfer wedi'u cysylltu'n drydanol â'i gilydd gan draciau dargludol, ee wedi'u ffurfio o bentwr o haenau dargludol.

6. Mae rheiliau dargludol yn gyffredinol yn ymestyn dros ardaloedd sefydlog, elfennau elastig, ac weithiau'n rhannol dros strwythurau symudol.

7. Wrth ei ddefnyddio, mae dadleoli'r strwythur symudol yn arwain at ddadffurfiad, ee troelli, yr elfennau elastig sy'n cyfyngu'r strwythur symudol i'r ardal sefydlog.

Cysylltwch â Ni:

Email: zhang@pride-cnc.com

Ffôn: plws 86-755-23699351

Mob: ynghyd â 8618666663894